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超聲波掃描顯微鏡

超聲波掃描顯微鏡使用高頻超聲波(15MHz～2GHz)對(duì)試件內(nèi)部、亞表面和表面等進(jìn)行觀(guān)察及定性定量分析。其可以非破壞性、精細(xì)、高靈敏度地對(duì)試件微觀(guān)形貌、微損傷及力學(xué)性能進(jìn)行表征，廣泛應(yīng)用于微電子、集成電路、材料、航空航天和生物等領(lǐng)域的科學(xué)研究及過(guò)程質(zhì)量控制。

產(chǎn)品特點(diǎn)

15MHz～500MHz超聲顯微檢測(cè)

4通道實(shí)時(shí)高效成像

缺陷檢測(cè)：內(nèi)部空洞、分層、夾雜、氣泡和裂紋，用于晶元鍵合、SMT焊接、芯片封裝、MEMS器件、觸摸層、復(fù)合材料、材料涂覆層等過(guò)程質(zhì)量控制

材料表征與分析：力學(xué)性能測(cè)量、金相分析、蠕變孔洞、疲勞微裂紋、粘接強(qiáng)度等

參數(shù)配置

Z軸行程	120mm
掃描區(qū)域	用戶(hù)自定義
脈沖形式	負(fù)極性脈沖
供電方式	交流電220V±10%，頻率50Hz±5%
結(jié)構(gòu)形式	臺(tái)式
自動(dòng)對(duì)焦	可實(shí)現(xiàn)表面、內(nèi)部任意界面自動(dòng)對(duì)焦
時(shí)間估算	整體及剩余用時(shí)估算
缺陷量化	可實(shí)現(xiàn)缺陷自動(dòng)識(shí)別及量化
邊緣測(cè)定	可自動(dòng)尋找被測(cè)樣品的中心位置和樣品邊緣，自動(dòng)設(shè)定掃描范圍
力學(xué)性能測(cè)試	可用于材料表層力學(xué)性能分析，具備表面波速、泊松比、楊氏模塊、剪切模量和體積模量等參數(shù)測(cè)量功能
表面跟蹤掃描	可設(shè)置參考閘門(mén)，實(shí)現(xiàn)成像閘門(mén)跟隨功能?？山鉀Q由于樣品不平造成的圖像失真問(wèn)題